Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Авторефераты диссертаций и диссертации
  3. Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок
Поиск

Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок

Авторы: Гранько, Сергей Владимирович
Подробная информация
Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок
Текст
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 001.04.07 ; 05.27.01
Белорусский государственный университет
Минск
2004
23 с.