Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем
Колос, Владимир Владимирович
Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем, [Текст], автореф. дис. ... канд. физико-математических наук : 01.04.07, Белорусский государственный университет
Минск :
2012 .-
23 с. .-
ил.
