| Индекс УДК |
535.21 538.9 621.3 |
|
Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем Текст автореф. дис. ... канд. физико-математических наук : 01.04.07 Белорусский государственный университет |
|
| Место издания | Минск |
| Дата издания оригинала | 2012 |
| Объем | 23 с. |
| Ключевые слова | силициды титана |
