Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок
Прудник,Александр Михайлович
Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок, Автореф.дис...канд.техн.наук:05.27.01, БГУ Информатики и радиоэлектроники
Минск, 2002
22с