Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Авторефераты диссертаций и диссертации
  3. Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок
Поиск

Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок

Авторы: Прудник,Александр Михайлович
Подробная информация
Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок
Автореф.дис...канд.техн.наук:05.27.01
БГУ Информатики и радиоэлектроники
Минск
2002
22с