Феноменологическое моделирование процессов осаждения нитридов алюминия и галлия из газовой фазы
Добрынин, Андрей Витальевич
Феноменологическое моделирование процессов осаждения нитридов алюминия и галлия из газовой фазы, Текст, автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 05.27.06, Московский государственный институт электронной техники (Технический университет)
Москва, 2001
34 с.