|
Феноменологическое моделирование процессов осаждения нитридов алюминия и галлия из газовой фазы Текст автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 05.27.06 Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) |
|
|
Москва 2001 |
|
| 34 с. |
