| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/366130585 |
| Дата корректировки | 14:56:25 8 августа 2011 г. |
| ISBN | 978-985-515-311-6 |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.793:621.3.049.77 |
| Автор | Обухов, В. Е. |
|
Моделирование процессов вакуумной микролитографии как путь снижения затрат при разработке новых технологий Текст |
|
| Место издания | Гродно |
| Издательство | ГрГУ им. Я. Купалы |
| Дата издания оригинала | 2010 |
| Ключевые слова | микролитография |
|
компьютерное моделирование микросхемы |
|
|
Энерго- и материалосберегающие экологически чистые технологии Гродно : ГрГУ им. Я. Купалы, 2010 С. 23-30 RU/IS/BASE/361474036 |
|
| Тип документа | b |
