| Индекс УДК | 621.793:621.3.049.77 |
| Автор | Обухов, В. Е. |
|
Моделирование процессов вакуумной микролитографии как путь снижения затрат при разработке новых технологий Текст |
|
| Место издания | Гродно |
| Издательство | ГрГУ им. Я. Купалы |
| Дата издания оригинала | 2010 |
| Ключевые слова | микролитография |
|
Энерго- и материалосберегающие экологически чистые технологии Гродно : ГрГУ им. Я. Купалы, 2010 С. 23-30 RU/IS/BASE/361474036 |
