Поиск

Особенности получения пленок оксидов Мо методом "напыление-окисление" или химическим наслаиванием

Авторы: Спицкий, С. И. Шелемет, К. Ю. Коваль, К. С. Богомазова, Наталья Валентиновна
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/735227007
Дата корректировки 13:45:54 19 апреля 2023 г.
ISBN 978-985-897-089-5
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.794.4:661.862.22
Автор Спицкий, С. И.
Особенности получения пленок оксидов Мо методом "напыление-окисление" или химическим наслаиванием
Текст
Место издания Минск
Издательство БГТУ
Дата издания оригинала 2023
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 3 назв.
Ключевые слова молибден
оксиды молибдена
пленки оксида молибдена
стихиометрия
химическое наслаивание
напыление-окисление
Другие авторы Шелемет, К. Ю.
Коваль, К. С.
Богомазова, Наталья Валентиновна
Богомазова, Н. В.
Организация/ юрисдикция Белорусский государственный технологический университет
Другие уровни Кафедра химии, технологии электрохимических производств и материалов электронной техники
Инновационные материалы и технологии - 2023
Минск : БГТУ, 2023
С. 199-203
RU/IS/BASE/732873893
Тип документа b