Особенности получения пленок оксидов Мо методом "напыление-окисление" или химическим наслаиванием
Спицкий, С. И., Шелемет, К. Ю., Коваль, К. С., Богомазова, Наталья Валентиновна
Особенности получения пленок оксидов Мо методом "напыление-окисление" или химическим наслаиванием, [Текст]
Минск :
БГТУ ,
2023 .-
ил.
Инновационные материалы и технологии - 2023, Минск : БГТУ, 2023, С. 199-203, RU/IS/BASE/732873893
