| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/685033914 |
| Дата корректировки | 15:11:54 15 сентября 2021 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Свежинцева |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК |
621.382.049.77 548.526 |
|
Зеленин, В.А. В. А. Зеленин |
|
|
Механизмы формирования ямок в контактных окнах при термообработке структур Si (111)/SiO[2]/Al Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил, табл. |
| Библиография | Библиогр.: 6 назв. |
|
кремниевые структуры плоскодонные ямки вакуумное осаждение пленок тонкие пленки полупроводниковые пластины ямки контактных окон размеры ямок контактные окна структур моделирование процесса процесс формирования ямок поверхность кремния |
|
| Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси, г. Минск | |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2020 Кн. 1. - С. 16-24 RU/IS/BASE/678216870 978-985-6441-61-8 (кн. 1) |
|
| Тип документа | b |
