| Индекс УДК |
621.382.049.77 548.526 |
|
Механизмы формирования ямок в контактных окнах при термообработке структур Si (111)/SiO[2]/Al Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2020 |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2020 Кн. 1. - С. 16-24 RU/IS/BASE/678216870 978-985-6441-61-8 (кн. 1) |
