| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/661865111 |
| Дата корректировки | 14:59:49 9 сентября 2021 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Свежинцева |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 666.9-127 |
|
Аль-Камали, М. Ф. С. Х. М. Ф. С. Х. Аль-Камали |
|
|
Микропорошки композиционного состава на основе аэросила, предназначенные для изготовления элементов микроэлектроники Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
|
аэросил микропорошки композитного состава напыление покрытий в вакууме легирующие добавки двухкомпонентные металоооксидные системы оксид меди оксид кремния микроэлектроники создание наноэлектроники создание тонкодисперсные микропорошки магнетронное распыление |
|
|
Алексеенко, А. А. А. А. Алексеенко Титенков, О. А. О. А. Титенков |
|
|
Инновационные силикатные и тугоплавкие неметаллические материалы и изделия: свойства, строение, способы получения Минск : БГТУ, 2020 С. 183-185 RU/IS/BASE/660649778 978-985-530-866-0 |
|
| Тип документа | b |
