Индекс УДК | 666.9-127 |
Микропорошки композиционного состава на основе аэросила, предназначенные для изготовления элементов микроэлектроники Текст |
|
Место издания | Минск |
Издательство | БГТУ |
Дата издания оригинала | 2020 |
Инновационные силикатные и тугоплавкие неметаллические материалы и изделия: свойства, строение, способы получения Минск : БГТУ, 2020 С. 183-185 RU/IS/BASE/660649778 978-985-530-866-0 |