| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/610886586 |
| Дата корректировки | 10:43:06 11 мая 2019 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 535.32:621.378 |
| Автор | Хомченко, А. В. |
|
Рефлектометрия многослойных структур на кремниевой подложке Текст |
|
| Место издания | Могилев |
| Издательство | ГУ ВПО "Белорусско-Российский университет" |
| Дата издания оригинала | 2015 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Ключевые слова |
рефлектометрия интегральные микросхемы кремниевая подложка многослойные структуры интегрально-оптические микросхемы многоугловая эллипсометрия |
| Другие авторы | Примак, И. У. |
| Другие авторы |
Корнеева, И. А. Крекотень, Н. А. |
| Организация/ юрисдикция | Белорусско-Российский университет |
| ОАО "Интеграл" | |
| Источник информации |
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии Могилев : ГУ ВПО "Белорусско-Российский университет", 2015 С. 310-311 RU/IS/BASE/605183721 978-985-492-144-0 |
| Тип документа | b |
