| Индекс УДК | 535.32:621.378 |
| Автор | Хомченко, А. В. |
|
Рефлектометрия многослойных структур на кремниевой подложке Текст |
|
| Место издания | Могилев |
| Издательство | ГУ ВПО "Белорусско-Российский университет" |
| Дата издания оригинала | 2015 |
| Ключевые слова |
рефлектометрия интегральные микросхемы кремниевая подложка многослойные структуры интегрально-оптические микросхемы многоугловая эллипсометрия |
| Другие авторы | Примак, И. У. |
