| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/610885077 |
| Дата корректировки | 10:17:57 11 мая 2019 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 535.2 |
| Автор | Стаськов, Н. И. |
|
Многоугловая эллипсометрия поликристаллического кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем Текст |
|
| Место издания | Могилев |
| Издательство | ГУ ВПО "Белорусско-Российский университет" |
| Дата издания оригинала | 2015 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 1 назв. |
| Ключевые слова |
многоугловая эллипсометрия поликристаллический кремний кремниевая подложка оксидный слой кремниевые многослойники электродинамические модели переходные слои |
| Другие авторы | Крекотень, Н. А. |
| Другие авторы | Шилов, А. В. |
| Организация/ юрисдикция | Могилевский государственный университет им. А. А. Кулешова |
| Источник информации |
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии Могилев : ГУ ВПО "Белорусско-Российский университет", 2015 С. 306-307 RU/IS/BASE/605183721 978-985-492-144-0 |
| Тип документа | b |
