| Индекс УДК | 535.2 |
| Автор | Стаськов, Н. И. |
|
Многоугловая эллипсометрия поликристаллического кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем Текст |
|
| Место издания | Могилев |
| Издательство | ГУ ВПО "Белорусско-Российский университет" |
| Дата издания оригинала | 2015 |
| Ключевые слова |
многоугловая эллипсометрия поликристаллический кремний кремниевая подложка оксидный слой кремниевые многослойники электродинамические модели переходные слои |
| Другие авторы | Крекотень, Н. А. |
