| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/609350353 |
| Дата корректировки | 15:59:13 23 апреля 2019 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Яновская |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 537.876.23+543.42:621.373 |
| Автор | Хорошко, Л. С. |
|
Маскирующие золь-гель покрытия для фотолитографии микронного разрешения Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2015 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 3 назв. |
| Ключевые слова | золь-гель покрытия |
|
формирование микроструктур пленочные микроструктуры электрохимическое анодирование золь-гель синтез фотолитография химическое травление |
|
| Другие авторы | Ореховская, Т. И. |
|
Меледина, М. В. Гапоненко, Н. В. |
|
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2015 Кн. 1. - С. 208-212 RU/IS/BASE/605186298 978-985-6441-44-1 (кн. 1) |
|
| Тип документа | b |
