| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/544791290 |
| Дата корректировки | 8:01:42 7 апреля 2017 г. |
| Вид содержания и средства доступа | 1-80 |
| Служба первич. каталог. |
Лапко БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.002 |
| Полочн. индекс | 621.3 |
| Авторский знак | Р86 |
|
Румак, Николай Владимирович Н. В. Румак |
|
|
Система кремний-двуокись кремния в МОП-структурах Текст Академия наук БССР, Физико-технический институт ; под ред. д-ра техн. наук В. М. Колешко |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Навука і тэхніка |
| Дата издания оригинала | 1985 |
| Объем | 239, [1] с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Аннотация | Систематизированы представления по теории и практике применения систем кремний-двуокись кремния в технологии изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем на МОП-структурах. |
|
МОП-структуры микроэлектроника система кремний-двуокись кремния полупроводниковые приборы интегральные схемы электрофизические свойства систем |
|
|
Академия наук БССР Физико-технический институт |
|
| Тип документа | m |
