Индекс УДК | 621.382.002 |
Система кремний-двуокись кремния в МОП-структурах Текст Академия наук БССР, Физико-технический институт ; под ред. д-ра техн. наук В. М. Колешко |
|
Место издания | Минск |
Издательство | Навука і тэхніка |
Дата издания оригинала | 1985 |
Объем | 239, [1] с. |