Исследование температуры полупроводниковых пластин в реакционно-разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа
Тихон, О. И., Бондаренко, А. С., Мадвейко, С, И.
Исследование температуры полупроводниковых пластин в реакционно-разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа, [Текст]
Гродно :
ГрГУ им. Янки Купалы ,
2022 .-
ил.
RU/IS/BASE/713347921, Физика конденсированного состояния, Гродно : ГрГУ им. Янки Купалы, 2022, С. 239-241
