| Индекс УДК | 533.924 |
| Автор | Тихон, О. И. |
|
Исследование температуры полупроводниковых пластин в реакционно-разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа Текст |
|
| Место издания | Гродно |
| Издательство | ГрГУ им. Янки Купалы |
| Дата издания оригинала | 2022 |
| Ключевые слова | температура полупроводниковых пластин |
|
RU/IS/BASE/713347921 Физика конденсированного состояния Гродно : ГрГУ им. Янки Купалы, 2022 С. 239-241 |
