-
Формирование кристаллических фаз в гетероструктурах пленок оксидов при последовательной термообработке в воздушной среде и вакууме
Арсентьев, М. Ю., Лапшин, А. Е., Комлев, А. Е., Морозова, А. А., Шаповалов, В. И.
Формирование кристаллических фаз в гетероструктурах пленок оксидов при последовательной термообработке в воздушной среде и вакууме, [Текст]
Санкт-Петербург :
ЛЕМА ,
2014 .-
XXII Всероссийское совещание по неорганическим и органосиликатным покрытиям, Санкт-Петербург : ЛЕМА, 2014, С. 28-29, RU/IS/BASE/605185673, 978-5-98709-787-8
-
Влияние термообработки в вакууме на химический состав пленок оксида вольфрама
Морозова, А. А., Мошкалев, С. А., Лапшин, А. Е., Ермаков, В. А., Комлев, А. Е., Шаповалов, В. И.
Влияние термообработки в вакууме на химический состав пленок оксида вольфрама, [Текст]
Санкт-Петербург :
ЛЕМА ,
2014 .-
XXII Всероссийское совещание по неорганическим и органосиликатным покрытиям, Санкт-Петербург : ЛЕМА, 2014, С. 34-35, RU/IS/BASE/605185673, 978-5-98709-787-8
-
Влияние термообработки на морфологию поверхности пленок оксида вольфрама, осажденных на кремний
Пугачев, К. Э., Ефименко, Л. П., Морозова, А. А., Комлев, А. Е., Шаповалов, В. И.
Влияние термообработки на морфологию поверхности пленок оксида вольфрама, осажденных на кремний, [Текст]
Санкт-Петербург :
ЛЕМА ,
2014 .-
ил.. табл.
