| Индекс УДК | 621.78.011 |
| Автор | Пугачев, К. Э. |
|
Влияние термообработки на морфологию поверхности пленок оксида вольфрама, осажденных на кремний Текст |
|
| Место издания | Санкт-Петербург |
| Издательство | ЛЕМА |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Ключевые слова |
атомно-силовая микроскопия морфология поверхности термообработка кремний пленки оксида вольфрама кристаллизация аморфные пленки |
| Другие авторы | Ефименко, Л. П. |
