Пресс-материалы для микроэлектроники
Фирсов, Владимир Александрович, Бейда, Валерий Иванович, Негробова, Людмила Павловна, Харахаш, Ольга Григорьевна, Волошкин, Анатолий Федорович, Белая, Элеонора Сергеевна
Пресс-материалы для микроэлектроники, [Текст], обзорная информация, Министерство химической промышленности СССР, Научно-исследовательский институт технико-экономических исследований ; [сост.: В. А. Фирсов, В. И. Бейда, Негробова, Л. П., О. Г. Харахаш, А. Ф. Волошкин, Э. С. Белая ; отв. за вып. Г. Н. Ряснянская]
Москва :
НИИТЭХИМ ,
1988 .-
21, [2] с. .-
ил., табл.