| Индекс УДК | 621.382.049.77 |
|
Пресс-материалы для микроэлектроники Текст обзорная информация Министерство химической промышленности СССР, Научно-исследовательский институт технико-экономических исследований ; [сост.: В. А. Фирсов, В. И. Бейда, Негробова, Л. П., О. Г. Харахаш, А. Ф. Волошкин, Э. С. Белая ; отв. за вып. Г. Н. Ряснянская] |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | НИИТЭХИМ |
| Дата издания | 1988 |
| Объем | 21, [2] с. |
| Аннотация | В обзоре рассмотрены основные направления исследований в области создания высококачественных герметизирующих пресс-материалов для микроэлектроники. |
| Ключевые слова | целевые добавки |
| Другие авторы | Бейда, Валерий Иванович |
