Технология полупроводников
Богомазова, Наталья Валентиновна
Технология полупроводников, Текст, методические указания к лабораторным работам по одноименному курсу для студентов специальности 1-48 01 01 "Химическая технология неорганических веществ, материалов и изделий" специализации 1-48 01 01 13 "Химическая технология материалов квантовой и твердотельной электроники", Белорусский государственный технологический университет ; [сост. Н. В. Богомазова]
Минск, БГТУ, 2006
74 с., ил.