Получение и свойства тонких пленок с кремниевыми, германиевыми и кремний-германиевыми наноструктурами
Строгова, Александра Сергеевна, Ковалевский, Александр Адамович, Кузнецов, Дмитрий Федорович
Получение и свойства тонких пленок с кремниевыми, германиевыми и кремний-германиевыми наноструктурами , [монография], [Текст]
Минск :
Бестпринт ,
2018 .-
219, [1] c. .-
ил., табл.
