Многоугловая эллипсометрия поликристаллического кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем
Стаськов, Н. И., Крекотень, Н. А., Шилов, А. В.
Многоугловая эллипсометрия поликристаллического кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем, [Текст]
Могилев :
ГУ ВПО "Белорусско-Российский университет" ,
2015 .-
ил., табл.