Состояние и тенденции развития толстопленочной технологии и оборудования
Исаев, Ю. В., Хоняк, Е. И.
Состояние и тенденции развития толстопленочной технологии и оборудования, [Текст], обзорная информация, Министерство приборостроения, средств автоматизации и систем управления, Центральный научно-исследовательский институт информации и технико-экономических исследований приборостроения, средств автоматизации и систем управления ; отв. за вып. М. И. Паршина
Москва :
ЦНИИТЭИприборостроения ,
1978 .-
55, [1] с. .-
ил., табл.