| Индекс УДК | 621.38.002 |
|
Состояние и тенденции развития толстопленочной технологии и оборудования Текст обзорная информация Министерство приборостроения, средств автоматизации и систем управления, Центральный научно-исследовательский институт информации и технико-экономических исследований приборостроения, средств автоматизации и систем управления ; отв. за вып. М. И. Паршина |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | ЦНИИТЭИприборостроения |
| Дата издания оригинала | 1978 |
| Объем | 55, [1] с. |
| Аннотация | В обзоре анализируются современное состояние и тенденции развития технологии толстопленочных интегральных микросхем, оборудования и методов сборки. |
| Другие авторы | Хоняк, Е. И. |
