Формирование рельефа поверхности (001) монокристаллического Si при травлении в водных растворах КОН с повышенным содержанием K[2]CO[3]
Усенко, А. Е., Юхневич, А. В.
Формирование рельефа поверхности (001) монокристаллического Si при травлении в водных растворах КОН с повышенным содержанием K[2]CO[3], [Электронный ресурс], Белорусский государственный университет, Научно-исследовательский институт физико-химических проблем
Минск :
БГУ ,
2011 .-
ил., табл.
Свиридовские чтения, Минск : БГУ, 2011, Вып. 7. - С. 113-119, RU/IS/BASE/538487082, 978-985-518-566-7