| Индекс УДК | 546.28:539.211 |
| Автор | Усенко, А. Е. |
|
Формирование рельефа поверхности (001) монокристаллического Si при травлении в водных растворах КОН с повышенным содержанием K[2]CO[3] Электронный ресурс Белорусский государственный университет, Научно-исследовательский институт физико-химических проблем |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГУ |
| Дата издания оригинала | 2011 |
| Ключевые слова | растворы травления |
| Другие авторы | Юхневич, А. В. |
|
Свиридовские чтения Минск : БГУ, 2011 Вып. 7. - С. 113-119 RU/IS/BASE/538487082 978-985-518-566-7 |
