Применение наноструктурированных материалов в технологии межсоединений
Новиков, А.
Применение наноструктурированных материалов в технологии межсоединений, [Текст]
Москва :
[РОСНАНО] ,
2008 .-
ил
Rusnanotech'08, Москва : [РОСНАНО], 2008, С.467-469, RU/IS/BASE/605185555
