| Индекс УДК | 620.3-022.532 |
| Автор | Новиков, А. |
|
Применение наноструктурированных материалов в технологии межсоединений Текст |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | [РОСНАНО] |
| Дата издания оригинала | 2008 |
| Ключевые слова | наноструктурированные материалы |
|
Rusnanotech'08 Москва : [РОСНАНО], 2008 С.467-469 RU/IS/BASE/605185555 |
