Правила безопасности при производстве полупроводниковых материалов (германия и кремния)
Хмелевой, С. К.
Правила безопасности при производстве полупроводниковых материалов (германия и кремния), [Текст], [ред. комис.: С. К. Хмелевой (предс.) и др.]
Москва :
Металлургия ,
1984 .-
31, [2] с. .-
