| Индекс УДК | 669.78:658.382.3 |
|
Правила безопасности при производстве полупроводниковых материалов (германия и кремния) Текст [ред. комис.: С. К. Хмелевой (предс.) и др.] |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | Металлургия |
| Дата издания оригинала | 1984 |
| Объем | 31, [2] с. |
