Наращивание эпитаксиальных пленок кремния путем восстановления четыреххлористого кремния водородом
Тойерер, Х.
Наращивание эпитаксиальных пленок кремния путем восстановления четыреххлористого кремния водородом, [Текст]
Москва :
Издательство иностранной литературы ,
1963 .-
Процессы роста и выращивание монокристаллов, Москва : Издательство иностранной литературы, 1963, С. 473-483, RU/IS/BASE/780756339
