| Автор | Тойерер, Х. |
|
Наращивание эпитаксиальных пленок кремния путем восстановления четыреххлористого кремния водородом Текст |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | Издательство иностранной литературы |
| Дата издания оригинала | 1963 |
| Ключевые слова | эпитаксиальныеи пленки кремния |
|
Процессы роста и выращивание монокристаллов Москва : Издательство иностранной литературы, 1963 С. 473-483 RU/IS/BASE/780756339 |
