Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы
Палмер, Д., Калбицер, С., Эйзен, Ф., Фоти, Дж., Литл, Р., Люка, Ш., Трюш, Р., Келли, Р. , Поут, Дж.
Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы, [Текст], сборник статей, пер. с англ. под ред. В. С. Вавилова
Москва :
Мир ,
1980 .-
330, [1] с. .-
ил.
