-
Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии
Гук, Елена Григорьевна, Ельцов, Андрей Васильевич, Шуман, Валентина Борисовна, Юрре, Татьяна Андреевна
Ленинград :
Наука, Ленинградское отделение ,
1984 .-
115, [2] с. .-
ил., табл.
-
Фотохимические процессы в слоях
Ельцов, Андрей Васильевич, Батеха, Иван Герасимович, Беккер, Гейнц, Кузнецов, Валерий Сергеевич, Холмогоров, Владимир Евгеньевич, Шиллер, Курт, Юрре, Татьяна Андреевна
Фотохимические процессы в слоях, [Текст], под ред. проф. А. В. Ельцова
Ленинград :
Химия, Ленинградское отделение ,
1978 .-
231, [1] с. .-
ил., табл.
-
Химические свойства и применение фоторезистов
Юрре, Татьяна Андреевна, Ельцов, Андрей Васильевич
Химические свойства и применение фоторезистов, конспект лекций, Ленинградский технологический институт им. Ленсовета, Кафедра технологии органических красителей и фототропных соединений, [Текст]
Ленинград :
ЛТИ ,
1981 .-
64, [1] с. .-
ил.