| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/435057776 |
| Дата корректировки | 21:23:52 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 666.7 |
| Ващилин, В. С. | |
|
Формирование тонких пленок AlN на стекле методом квадрупольного магнетронного распыления Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 8 назв. |
|
нитрид алюминия магнетронное распыление рентгеновская дифрактометрия |
|
|
Нарцев, В. М. Карацупа, С. В. Евтушенко, Е. И. Прохоренков, Д. С. Зайцев, С. В. |
|
|
Огнеупоры и техническая керамика 2013 № 7-8. - С. 8-11 |
|
| Тип документа | b |
