Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Формирование тонких пленок AlN на стекле методом квадрупольного магнетронного распыления
Поиск

Формирование тонких пленок AlN на стекле методом квадрупольного магнетронного распыления

Авторы: Ващилин, В. С. Нарцев, В. М. Карацупа, С. В. Евтушенко, Е. И. Прохоренков, Д. С. Зайцев, С. В.
Подробная информация
Индекс УДК 666.7
Формирование тонких пленок AlN на стекле методом квадрупольного магнетронного распыления
Текст
Огнеупоры и техническая керамика
2013
№ 7-8. - С. 8-11