| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/434721478 |
| Дата корректировки | 21:23:44 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 532.61+544 |
| Ежовский, Ю. К. | |
|
Получение наноструктурных пленок оксида и нитрида кремния с использованием нанотехнологии Текст |
|
| Библиография | Библиогр.: 18 назв. |
|
наноструктурные пленки оксид кремния нитрид кремния нанотехнологии |
|
|
Неорганические материалы 2013 Т. 49, № 9. - С. 971-975 |
|
| Тип документа | b |
