Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Получение наноструктурных пленок оксида и нитрида кремния с использованием нанотехнологии
Поиск

Получение наноструктурных пленок оксида и нитрида кремния с использованием нанотехнологии

Авторы: Ежовский, Ю. К.
Подробная информация
Индекс УДК 532.61+544
Получение наноструктурных пленок оксида и нитрида кремния с использованием нанотехнологии
Текст
Неорганические материалы
2013
Т. 49, № 9. - С. 971-975