| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/220928710 |
| Дата корректировки | 21:22:52 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 544 |
| Тураев, Д. Ю. | |
|
Электроосаждение тонких слоев меди из комплексного электролита на компоненты микроэлектронных структур Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 7 назв. |
|
микроэлектронные структуры электроосаждение комплексный электролит |
|
| Другие авторы | Гвоздев, В. А. |
|
Бундина, В. А. Валеев, А. С. Кругликов, С. С. |
|
|
Гальванотехника и обработка поверхности 2013 Т. 21, № 3. - С. 50-54 |
|
| Тип документа | b |
