Поиск

Электроосаждение тонких слоев меди из комплексного электролита на компоненты микроэлектронных структур

Авторы: Тураев, Д. Ю. Гвоздев, В. А. Бундина, В. А. Валеев, А. С. Кругликов, С. С.
Подробная информация
Индекс УДК 544
Электроосаждение тонких слоев меди из комплексного электролита на компоненты микроэлектронных структур
Текст
Другие авторы Гвоздев, В. А.
Гальванотехника и обработка поверхности
2013
Т. 21, № 3. - С. 50-54