Поиск

Осаждение наноразмерных пленок Cu и Al в вакууме лазерным методом

Авторы: Гончаров, В. К. Гусаков, Г. А. Пузырев, М. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/433601209
Дата корректировки 21:22:39 13 октября 2015 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.373:539.234
Гончаров, В. К.
Осаждение наноразмерных пленок Cu и Al в вакууме лазерным методом
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 9 назв.
лазерно-плазменное осаждение
наноразмерные пленки
эрозионная лазерная плазма
Гусаков, Г. А.
Пузырев, М. В.
Инженерно-физический журнал
2013
Т. 86, № 5. - С. 960-966
Тип документа b